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J-GLOBAL ID：200902131028161807   Reference number：96A1002416

Switched-Voltage Control of Electrostatic Levitation System.

静電浮上システムのスイッチド電圧制御

Author (3)： WOO S J (神奈川科学技術アカデミー) ,  JEON J U (神奈川科学技術アカデミー) ,  HIGUCHI T (Univ. Tokyo)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 1996  Issue： Autumn 3  Page： 747-748  Publication year： Aug. 1996 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Reference (2)：

• JIN, J. Electrostatic Levitator for Hard Disk Media. IEEE Trans. on Industrial Electronics. 1995, 42, 5, 467-473
• JIN, J. Electrostatic Silicon Wafer Suspension. Proc. 4th Int. Symp. Magnetic Bearings. 1994, 343-348

Terms in the title (2)： 浮上 ,  電圧制御