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J-GLOBAL ID：200902131038731849   Reference number：96A0350107

Electron beam microcolum technology and applications.

Author (8)： CHANG T H P (IBM Thomas J. Watson Res. Center, New York, USA) ,  THOMSON M G R (IBM Thomas J. Watson Res. Center, New York, USA) ,  YU M L (IBM Thomas J. Watson Res. Center, New York, USA) ,  KRATSCHMER E (IBM Thomas J. Watson Res. Center, New York, USA) ,  KIM H S (IBM Thomas J. Watson Res. Center, New York, USA) ,  LEE K Y (IBM Thomas J. Watson Res. Center, New York, USA) ,  RISHTON S A (IBM Thomas J. Watson Res. Center, New York, USA) ,  KERN D P (Tuebingen Univ., Tuebingen, DEU)
Material： Proceedings of SPIE  (Proceedings. SPIE - The International Society for Optical Engineering)
Volume： 2522  Page： 4-12  Publication year： 1995 
JST Material Number： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  Document type： Proceedings
Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)