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J-GLOBAL ID：200902131041671520   Reference number：98A0265505

Influence of the microstructure of Pt/Si substrates on textured growth of barium titanate thin films prepared by pulsed laser deposition.

パルスレーザ蒸着により作製したチタン酸バリウム薄膜の組織成長へのPt/Si基板の微細構造の影響

Author (3)： HWANG C S (National Inst. Standards and Technol., Maryland) ,  VAUDIN M D (National Inst. Standards and Technol., Maryland) ,  SCHENCK P K (National Inst. Standards and Technol., Maryland)
Material： Journal of Materials Research  (J Mater Res)
Volume： 13  Issue： 2  Page： 368-375  Publication year： Feb. 1998 
JST Material Number： D0987B  ISSN： 0884-2914  CODEN： JMREEE  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *barium titanate ,...
Semi thesaurus term： アニール

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JST classification (1)： Oxide thin films  (BK14050P)

Terms in the title (9)： パルスレーザ蒸着 ,  作製 ,  チタン酸バリウム ,  薄膜 ,  組織 ,  成長 ,  Pt ,  Si基板 ,  微細構造