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J-GLOBAL ID：200902131041764090   Reference number：96A0879009

Experimental Evidence for inelastic tunneling in stress-induced leakage current in SiO2.

ストレスリーク電流における非弾性トンネリングの実験的検証

Author (3)： TAKAGI SHIN'ICHI (東芝 ULSI研) ,  YASUDA NAOKI (東芝 ULSI研) ,  TORIUMI AKIRA (東芝 ULSI研)
Material： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
Volume： 57th  Issue： 2  Page： 566  Publication year： Sep. 1996 
JST Material Number： Y0055A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (6)： ストレス ,  リーク電流 ,  非弾性 ,  トンネリング ,  実験 ,  検証