Art

J-GLOBAL ID：200902131041888848   Reference number：99A0632539

FIB Cross-sectioning of TEM Samples at Specified Locations.

表面分析のケーススタディ 17 集束イオンビーム(FIB)装置による部位指定TEM用試料作製

Author (2)： TOMITA MASATO (NTT 生活環境研) ,  IIZUKA TOSHIO (NTTアドバンステクノロジ)
Material： 表面技術  (Journal of the Surface Finishing Society of Japan)
Volume： 50  Issue： 7  Page： 613-617  Publication year： Jul. 01, 1999 
JST Material Number： G0441B  ISSN： 0915-1869  CODEN： HYGIEX  Document type： Article
Article type： 解説  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *focused ion beam ,...
Semi thesaurus term： silica ,...

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JST classification (1)： Microscopy determination of structures  (BK01040E)

Reference (20)：

• BRAVMAN, J. C. specimen Preparation for Transmission Electron Microscopy of Materials. Symposium Proceeding. 1987, 115
• KIRK, E. C. G. 6th Microscopy of Semiconducting Materials. Proc. Inst. of Phys. Conf. 1989, 100, 501
• 高井義造. 電子顕微鏡. 1997, 32, 33
• ANDERSON, R. Specimen Preparation for Transmission Electron Microscopy of Materials-IV. Symposium Proceeding. 1997, 480
• 石谷亨. 電子顕微鏡. 1997, 32, 28

Terms in the title (6)： 表面分析 ,  ケーススタディ ,  集束イオンビーム ,  FIB ,  TEM ,  試料作製