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J-GLOBAL ID：200902131047695170   Reference number：99A0580395

MgO thin films for plasma display panel formed using plasma process.

プラズマプロセスを用いたPDP用MgO膜 (II)

Author (4)： MATSUMOTO HIROYUKI (東洋大) ,  OUMI KEN'ICHI (東洋大) ,  KASHIWAGI KUNIHIRO (東洋大) ,  MURAYAMA YOICHI (東洋大)
Material： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
Volume： 59th  Issue： 2  Page： 508  Publication year： Sep. 1998 
JST Material Number： Y0055A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (3)： プラズマプロセス ,  PDP ,  MgO