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J-GLOBAL ID：200902131051538551   Reference number：98A0272565

Study of Pulsed Soft X-ray Source Employing a Gas-puff Z-pinch Plasma Device For Lithography Applications.

リソグラフィーアプリケーション用ガスパフZピンチプラズマ装置を使用するパルスソフトX線源の研究

Author (5)： ZHANG G X (Nanyang Technological Univ., Singapore) ,  GUO X M (Nanyang Technological Univ., Singapore) ,  LUO C M (Tsinghua Univ., Beijing, CHN) ,  LEE S (Nanyang Technological Univ., Singapore) ,  FENG X (Nanyang Technological Univ., Singapore)
Material： AIP Conference Proceedings  (AIP Conf Proc)
Issue： 409  Page： 423-426  Publication year： 1997 
JST Material Number： D0071C  ISSN： 0094-243X  Document type： Proceedings
Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (7)： ガスパフ ,  Zピンチ ,  プラズマ装置 ,  パルス ,  ソフト ,  X線源 ,  研究