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J-GLOBAL ID：200902131052132745   Reference number：94A0179983

Thermal stability of the Cu interconnect.

Cu配線の耐熱性

Author (3)： IGARASHI YASUSHI (沖電気工業) ,  YAMANOBE TOMOMI (沖電気工業) ,  ITO TOSHIO (沖電気工業)
Material： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
Volume： 54th  Issue： 2  Page： 768  Publication year： Sep. 1993 
JST Material Number： Y0055A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (2)： Cu配線 ,  耐熱性