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J-GLOBAL ID：200902165020412438   Reference number：00A0576634

軽イオンによってスパッターされた粒子のエネルギー分布に対する新たな理論式

Author (3)： KENMOCHI TAKAHIRO (核融合科研) ,  KAWAMURA KOJI (核融合科研) ,  YAMAMURA YASUMICHI (岡山理大)
Material： プラズマ・核融合学会年会予稿集
Volume： 16th  Page： 164  Publication year： Nov. 1999 
JST Material Number： Y0876B  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (4)： 軽イオン ,  スパッター ,  エネルギー分布 ,  理論式