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J-GLOBAL ID：200902165022021118   Reference number：94A0476505

Current-Voltage Characteristics of Au/Silicon Native Oxide/Si Structures Measured Using AFM.

AFMにより測定したAu/シリコン自然酸化膜/Si構造の電流電圧特性

Author (4)： SAITO KENJI (武蔵工大 工) ,  MATSUDA MASANORI (武蔵工大 工) ,  YASUTAKE MASATOSHI (セイコー電子工業) ,  HATTORI TAKEO (武蔵工大 工)
Material： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
Volume： 41st  Issue： Pt 2  Page： 770  Publication year： Mar. 1994 
JST Material Number： Y0054A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (6)： AFM ,  Au ,  シリコン ,  自然酸化膜 ,  Si ,  電流電圧特性