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J-GLOBAL ID：200902165032342214   Reference number：98A0520311

High Resolution Electron Beam Resists of Fullerene Derivatives.

フラーレン誘導体を用いた高分解能電子線レジスト 2

Author (4)： TADA TETSUYA (アトムテクノロジー研究体) ,  KANAYAMA TOSHIHIKO (アトムテクノロジー研究体) ,  ROBINSON A (Univ. Birmingham) ,  PALMER R E (Univ. Birmingham)
Material： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
Volume： 45th  Issue： 2  Page： 662  Publication year： Mar. 1998 
JST Material Number： Y0054A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (3)： フラーレン誘導体 ,  高分解能 ,  電子線レジスト