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J-GLOBAL ID：200902165043031881   Reference number：03A0335197

Micromachined capacitive transducers with improved optical detection for ultrasound applications in air

空中における超音波応用に対して光検出を改良した微細加工静電容量変換器

Author (4)： HALL N A (Georgia Inst. Technol., GA) ,  LEE W (Georgia Inst. Technol., GA) ,  DERVAN J (Georgia Inst. Technol., GA) ,  DEGERTEKIN F L (Georgia Inst. Technol., GA)
Material： Proceedings. IEEE Ultrasonics Symposium  (Proceedings. Ultrasonics Symposium)
Volume： 2002  Issue： Vol.2  Page： 1027-1030  Publication year： 2002 
JST Material Number： A0437C  ISSN： 1051-0117  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *ultrasonic transducer ,...
Semi thesaurus term： cMUT

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JST classification (1)： Acoustic transducer and other acoustic equipments  (BB03060N)

Terms in the title (5)： 超音波応用 ,  光検出 ,  微細加工 ,  静電容量 ,  変換器