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J-GLOBAL ID：200902165064958667   Reference number：99A0421334

光熱駆動マイクロ振動子の運動解析

Author (3)： ABE HIROSHI (セイコーエプソン) ,  ITAO KIYOSHI (東大) ,  HOSAKA HIROSHI (東大)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 1999  Issue： 春季  Page： 307  Publication year： Mar. 05, 1999 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Reference (3)：

• 羽根一博. フォトサーマル振動の非破壊検査への応用. 光学. 1990, 19, 85-90
• 鈴木陽子. 光熱駆動光ファイバ振動子の設計法. 精密工学会誌. 1997, 63, 8, 1101
• KIDAWA-KUKLA, J. VIBRATION OF A MEAM INDUCED BY HARMONIC MOTION OF A HEAT SOURCE. Journal of Sound and Vibration. 1997, 205, 2, 213

Terms in the title (2)： 振動子 ,  運動解析