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J-GLOBAL ID：200902165074506829   Reference number：00A0314061

Influence of argon pressure on the depth resolution during GDOES depth profiling analysis of thin films.

薄膜のGDOES深さプロフィル分析における深さ分解能に及ぼすアルゴン圧の効果

Author (5)： SHIMIZU K (Keio Univ., Yokohama, JPN) ,  HABAZAKI H (Tohoku Univ., Sendai, JPN) ,  SKELDON P (UMIST, Manchester, GBR) ,  THOMPSON G E (UMIST, Manchester, GBR) ,  WOOD G C (UMIST, Manchester, GBR)
Material： Surface and Interface Analysis  (SIA)
Volume： 29  Issue： 2  Page： 155-159  Publication year： Feb. 2000 
JST Material Number： E0709A  ISSN： 0142-2421  CODEN： SIANDQ  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *emission spectroscopy ,...
Semi thesaurus term： pressure dependence

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JST classification (3)： Surface structure of metals  (BK15020P) ,  Oxide thin films  (BK14050P) ,  Luminescence of inorganic compounds  (BM08093J)

Terms in the title (7)： 薄膜 ,  GDOES ,  深さプロフィル ,  分析 ,  深さ分解能 ,  アルゴン ,  圧