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J-GLOBAL ID：200902165108750155   Reference number：97A0524357

Selective Area MOVPE using AlGaAs Native Oxide Mask. (3).

AlGaAs自然酸化膜マスクを用いたMOVPE選択成長 (3)

Author (4)： SAKUMA MAKOTO (北大) ,  KUMAKURA KAZUHIDE (北大) ,  MOTOHISA JUN'ICHI (北大) ,  FUKUI TAKASHI (北大)
Material： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
Volume： 44th  Issue： 0  Page： 1331  Publication year： Mar. 1997 
JST Material Number： Y0054A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (5)： AlGaAs ,  自然酸化膜 ,  マスク ,  MOVPE ,  選択成長