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J-GLOBAL ID：200902165132657395   Reference number：97A0709916

Lubrication characteristics of a Al-Sn nitride film by reactive sputtering.

反応性スパッタリングによるAl-Sn窒化膜の潤滑特性

Author (4)： TAKAYA MATSUMI (千葉工大) ,  SAKAMOTO YUKIHIRO (千葉工大) ,  OKAWA HIROE (エヌデーシー) ,  KOYANAGI MASAYUKI (エヌデーシー)
Material： 日本トライボロジー学会トライボロジー会議予稿集  (Proceedings of JAST Tribology Conference)
Volume： 1997-5  Page： 241-243  Publication year： Apr. 1997 
JST Material Number： Y0047B  ISSN： 0919-6005  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (5)： 反応性スパッタリング ,  Al ,  Sn ,  窒化膜 ,  潤滑特性