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J-GLOBAL ID：200902165148420956   Reference number：01A0505181

エアー方式センタレス研磨装置の開発と水晶研磨

Author (4)： HAGIWARA SHINSAKU (山梨大) ,  SHIMOZUMA HIROYUKI (山梨大) ,  OSADA TASUKU (山梨大) ,  OUCHI HIDETOSHI (山梨大)
Material： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
Volume： 2001  Issue： 春季  Page： 39  Publication year： Mar. 05, 2001 
JST Material Number： Y0914A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *lapping machine ,...
Semi thesaurus term： *lapping

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JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Grinding  (QC03000R)

Terms in the title (7)： エアー ,  センタ ,  レス ,  研磨装置 ,  開発 ,  水晶 ,  研磨