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J-GLOBAL ID：200902165152910810   Reference number：98A0657575

Cathode sputtering and spectrometry in the glyme type He glow discharge.

グリム型Heグロー放電における陰極スパッタリング及び分光測定

Author (2)： TSUJI KOICHI (東北大 金材研) ,  WAGATSUMA KAZUAKI (東北大 金材研)
Material： 分析化学討論会講演要旨集  (分析化学)
Volume： 59th  Page： 162  Publication year： 1998 
JST Material Number： X0009A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (5)： グリム ,  He ,  グロー放電 ,  陰極スパッタリング ,  分光測定