Art

J-GLOBAL ID：200902165159466958   Reference number：97A0431728

Microstructures of Ni/Ti Multilayer Films using AES and TEM Techniques.

オージェ分析と電顕によるNi/Ti金属多層膜の構造評価

Author (1)： FUJIMOTO YASUTAKA (名古屋工大)
Material： 名古屋工業大学紀要  (Bulletin of Nagoya Institute of Technology)
Volume： 48(1996)  Page： 157-163  Publication year： Mar. 1997 
JST Material Number： F0210A  ISSN： 0918-595X  CODEN： NDKIE6  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： nickel ,...

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JST classification (3)： Metallic thin films  (BK14030T) ,  Structure determination and diffraction crystallography in general  (BK01010X) ,  Metallography  (WB01010R)

Terms in the title (6)： 分析 ,  電顕 ,  Ni ,  Ti ,  多層膜 ,  構造評価