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J-GLOBAL ID：200902165201740470   Reference number：96A0994337

Atomic force microscope investigations of topography, lateral force and electrical properties of metal containing amorphous, hydrogenated carbon thin films.

金属を含んだ非晶質水素化炭素薄膜の形態,横力及び電気的特性の原子間力顕微鏡調査

Author (2)： KAZIMIERSKI P (Polska Akademia Nauk, Lodz, POL) ,  LEHMBERG H (Technische Hochsch. Darmstadt, Darmstadt, DEU)
Material： International Journal of Electronics  (Int J Electron)
Volume： 81  Issue： 4  Page： 467-472  Publication year： Oct. 1996 
JST Material Number： C0287B  ISSN： 0020-7217  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： atomic force microscope ,...

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JST classification (2)： Materials of solid-state devices  (NC03020K) ,  Thin films of organic compounds  (BK14070L)

Terms in the title (7)： 非晶質 ,  水素化 ,  炭素薄膜 ,  形態 ,  電気的特性 ,  原子間力顕微鏡 ,  調査