Art

J-GLOBAL ID：200902165206058979   Reference number：96A0842416

An Axisymmetric Model for an RF Plasma in Contact with a Surface Having a Nonuniform Secondary Electron Emission Coefficient.

不均一な二次電子放出係数をもつ表面と接したRFプラズマの軸対称モデル

Author (2)： XU W (Multi-Arc, Inc., NJ, USA) ,  SIDES P J (Carnegie Mellon Univ., PA, USA)
Material： IEEE Transactions on Plasma Science  (IEEE Trans Plasma Sci)
Volume： 24  Issue： 3  Page： 1072-1078  Publication year： Jun. 1996 
JST Material Number： D0036B  ISSN： 0093-3813  CODEN： ITPSBD  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： glow discharge ,...

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JST classification (1)： Gas discharges  (BJ03020T)

Terms in the title (4)： 二次電子 ,  RFプラズマ ,  軸対称 ,  モデル