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J-GLOBAL ID：200902165209043352   Reference number：97A0936080

Production of miniature thermal analysis equipment using micromachining technology and its evaluation.

マイクロマシニング技術を用いた超小型熱分析装置の製作とその評価

Author (3)： HAYASAKA JUN'ICHI (東北学院大 工) ,  SAWAI CHIKAKO (東北学院大 工) ,  KIMURA MITSUTERU (東北学院大 工)
Material： 電気関係学会東北支部連合大会講演論文集  (Tohoku-Section Joint Convention Record on Institutes of Electrical and Information Engineers, Japan)
Volume： 1997  Page： 216  Publication year： Aug. 1997 
JST Material Number： L1767A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (4)： マイクロマシニング技術 ,  熱分析装置 ,  製作 ,  評価