Art

J-GLOBAL ID：200902165217737908   Reference number：96A0973132

De-electrostatic transport system for liquid crystal clean rooms. Ion. Clean. Tube.

液晶クリーンルーム向け除電搬送システム イオン クリーン チューブ

Author (3)： MIZUSHIMA SHIGERU (三機工業) ,  SUGAFUJI KAZUNORI (三機工業) ,  UEHARA SEIJI (三機工業)
Material： クリーンテクノロジー  (Clean Technology)
Volume： 6  Issue： 11  Page： 75-77  Publication year： Nov. 1996 
JST Material Number： L1138A  ISSN： 0917-1819  CODEN： KTEKER  Document type： Article
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (7)： 液晶 ,  クリーンルーム ,  除電 ,  搬送システム ,  イオン ,  クリーン ,  チューブ