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J-GLOBAL ID：200902165218093753   Reference number：00A0339561

Characterization of magnesium fluoride thin films deposited by direct electron beam evaporation.

直接電子ビーム蒸発によって堆積したふっ化マグネシウム薄膜の評価

Author (4)： DUMAS L (LETI/CEA-G.-DOPT, Grenoble, FRA) ,  QUESNEL E (LETI/CEA-G.-DOPT, Grenoble, FRA) ,  ROBIC J-Y (LETI/CEA-G.-DMEL, Grenoble, FRA) ,  PAULEAU Y (ENSEEG, Saint Martin d’Heres, FRA)
Material： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science and Technology. A. Vacuum, Surfaces, and Films)
Volume： 18  Issue： 2  Page： 465-469  Publication year： Mar. 2000 
JST Material Number： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *magnesium fluoride ,...
Semi thesaurus term： void

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JST classification (2)： Thin films of other inorganic compounds  (BK14060A) ,  Mechanical properties of solids in general  (BL01021C)

Terms in the title (5)： 電子ビーム蒸発 ,  堆積 ,  ふっ化マグネシウム ,  薄膜 ,  評価