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J-GLOBAL ID：200902212382799010   Reference number：07A1161938

Tip-induced local anodic oxidation on p-GaAs surface with non-contact atomic force microscopy

非接触原子間力顕微鏡によるp-GaAs表面のチップ誘起陽極酸化

Author (3)： TSAI Chien-huang (Dep. of Automation Engineering, Nan Kai Inst. of Technol., Nantou 54243, Taiwan) ,  JIAN Sheng-rui (Dep. of Materials Sci. and Engineering, I-Shou Univ., Kaohsiung 840, Taiwan) ,  WEN Hua-chiang (Dep. of Mechanical Engineering, National Chung Cheng Univ., Chia-Yi 621, Taiwan)
Material： Applied Surface Science  (Appl Surf Sci)
Volume： 254  Issue： 5  Page： 1357-1362  Publication year： Dec. 30, 2007 
JST Material Number： B0707B  ISSN： 0169-4332  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *gallium arsenide ,  atomic force microscope ,  *anodic oxidation ,  electrode tip ,  Auger spectrum ,  meniscus ,  *oxide film ,  *pattern formation ,  *nanostructure
Semi thesaurus term： nano size ,  *Microscopy, Atomic Force ,  水メニスカス ,  electrochemical oxidation ,  noncontact mode atomic force microscopy

JST classification (2)： Oxide thin films  (BK14050P) ,  Microscopy determination of structures  (BK01040E)

Terms in the title (4)： 非接触原子間力顕微鏡 ,  GaAs ,  誘起 ,  陽極酸化