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J-GLOBAL ID：200902212397955400   Reference number：09A0856956

Design and fabrication of novel micro electromagnetic actuator

新しい電磁マイクロアクチュエータの設計と製造

Author (5)： LEE Chia-Yen (National Pingtung Univ., Pingtung, TWN) ,  CHEN Zgen-Hui (Da-Yeh Univ., Changhua, TWN) ,  CHANG Hsien-Tseng (National Cheng-Kung Univ., Tainan, TWN) ,  WEN Chih-Yung (National Cheng-Kung Univ., Tainan, TWN) ,  CHENG Chiang-Ho (Da-Yeh Univ., Changhua, TWN)
Material： Microsystem Technologies  (Microsystem Technologies. Micro- and Nanosystems, Information Storage and Processing Systems)
Volume： 15  Issue： 8  Page： 1171-1177  Publication year： Aug. 2009 
JST Material Number： W2056A  ISSN： 0946-7076  Document type： Article
Country of issue： Germany, Federal Republic of (DEU)  Language： ENGLISH (EN)

Terms in the title (2)： マイクロアクチュエータ ,  設計