Thermal stability of sputter deposited nanomosaic rutile TiO<sub>2</sub>

AITA Carolyn Rubin

Art

J-GLOBAL ID：200902212402076690 Reference number：09A0717205

Thermal stability of sputter deposited nanomosaic rutile TiO₂

スパッタ蒸着したナノモザイクルチル型TiO₂の熱安定性

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Volume： 27 Issue： 4 Page： 648 Publication year： Jul. 2009
JST Material Number： C0789B ISSN： 0734-2101 CODEN： JVTAD6 Document type： Article
Article type：原著論文 Country of issue： United States (USA) Language： ENGLISH (EN)

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Oxide thin films

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Thermal stability of sputter deposited nanomosaic rutile TiO2

Thermal stability of sputter deposited nanomosaic rutile TiO₂