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J-GLOBAL ID：200902212403266034   Reference number：04A0733767

Reflective Microoptical Element Array Fabricated by Photofabrication Technique

光加工法により加工した微小光学反射素子配列

Author (4)： AWATSUJI Y (Kyoto Inst. of Technol., Kyoto, JPN) ,  SASADA M (Kyoto Inst. of Technol., Kyoto, JPN) ,  KAWANO N (Kyoto Inst. of Technol., Kyoto, JPN) ,  KUBOTA T (Kyoto Inst. of Technol., Kyoto, JPN)
Material： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Brief Communications & Review Papers)
Volume： 43  Issue： 8B  Page： 5845-5849  Publication year： Aug. 30, 2004 
JST Material Number： G0520B  ISSN： 0021-4922  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *photomask ,...

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JST classification (2)： Optical devices in general  (BD06010L) ,  Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Reference (15)：

• 1) K. Kagawa, T. Konishi, J. Tanida and Y. Ichioka: Opt. Rev. 4 (1997) 639.
• 2) T. Murakami, J. Shimamura and T. Kushimoto: JSME 11th Design and Systems Conf. (2001) p. 39 [in Japanese].
• 3) H. Kodama: Rev. Sci. Instrum. 52 (1981) 1770.
• 4) T. Yamada, N. Takato and T. Kurokawa: Jpn. J. Appl. Phys. 22 (1983) L636.
• 5) S. Shoji and S. Kawata: Appl. Phys. Lett. 75 (1999) 737.

Terms in the title (2)： 微小光学 ,  素子配列