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J-GLOBAL ID：200902212406577162   Reference number：09A0602276

LEVER-BASED CMOS-MEMS PROBES FOR RECONFIGURABLE RF IC’S

再構成可能な高周波集積回路向けのてこ式相補性金属酸化膜半導体-微小電気機械システム(CMOS-MEMS)プローブ

Author (5)： LIU J. (Carnegie Mellon Univ., Pennsylvania, USA) ,  NOMAN M. (Carnegie Mellon Univ., Pennsylvania, USA) ,  BAIN J. A. (Carnegie Mellon Univ., Pennsylvania, USA) ,  SCHLESINGER T. E. (Carnegie Mellon Univ., Pennsylvania, USA) ,  FEDDER G. K. (Carnegie Mellon Univ., Pennsylvania, USA)
Material： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems)
Volume： 22nd Vol.2  Page： 1107-1110  Publication year： 2009 
JST Material Number： W0377A  ISSN： 1084-6999  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *semiconductor integrated circuit ,  semiconductor ,  MEMS ,  *probe ,  platinum ,  *circuit transformation ,  *lever ,  area ,  contact resistance ,  *complementary metal oxide semiconductor
Semi thesaurus term： CMOS IC ,  contact area ,  *complementary metal oxide semiconductor

JST classification (3)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  General  (NC03161C) ,  Semiconductor integrated circuit  (NC03162T)

Terms in the title (9)： 再構成 ,  高周波集積回路 ,  てこ ,  相補性 ,  金属酸化膜半導体 ,  微小電気機械システム ,  CMOS ,  MEMS ,  プローブ