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J-GLOBAL ID：200902212412265920   Reference number：07A0376695

層状化合物半導体への微細加工による酸素ガスセンサの開発

Author (4)： NUGROHO T. (九大) ,  IKEDA AKIHIRO (九大) ,  KURIYAKI HISAO (九大) ,  KUROKI YUKINORI (九大)
Material： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
Volume： 54th  Issue： 1  Page： 482  Publication year： Mar. 27, 2007 
JST Material Number： Y0054A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： layered compound ,...

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JST classification (2)： Radiation detection and detectors  (AD08020J) ,  Molecular compounds  (CE02000C)

Terms in the title (5)： 層状 ,  化合物半導体 ,  微細加工 ,  酸素ガス ,  開発