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J-GLOBAL ID：200902212413941180   Reference number：07A0350054

Characterization and Experimental Verification of the Nonlinear Distortion in a Technique for Measuring the Relative Velocity Between Micromachined Structures in Normal Translational Motion

垂直並進運動におけるマイクロマシン構造間の相対速度測定技術における非線形歪のキャラクタリゼーションと実験による実証

Author (7)： DEAN Robert Neal, Jr. (Auburn Univ., AL, US) ,  FLOWERS George T. (Auburn Univ., AL, US) ,  HORVATH Roland (Structural Integrity Associates, Inc., CO, USA) ,  SANDERS Nicole (Auburn Univ., AL, US) ,  HODEL A. Scottedward (Auburn Univ., AL, US) ,  HUNG John Y. (Auburn Univ., AL, US) ,  ROPPEL Thaddeus (Auburn Univ., AL, US)
Material： IEEE Sensors Journal  (IEEE Sens J)
Volume： 7  Issue： 3-4  Page： 496-501  Publication year： Mar. 2007 
JST Material Number： W1318A  ISSN： 1530-437X  CODEN： ISJEAZ  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： characterization ,...
Semi thesaurus term： 相対速度 ,...

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JST classification (2)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Measuring methods and instruments of time,speed,acceleration,angular veloc?  (AD05040K)

Terms in the title (8)： 垂直 ,  並進運動 ,  マイクロマシン ,  速度測定 ,  非線形歪 ,  キャラクタリゼーション ,  実験 ,  実証