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J-GLOBAL ID：200902212417801889   Reference number：04A0018389

CMOS MEMS Fingerprint Sensor Based on Seamless Integration Technology

シームレス集積技術をベースとするCMOS・MEMS指紋センサ

Author (9)： SATO N (NTT Corp.) ,  MACHIDA K (NTT Corp.) ,  MORIMURA H (NTT Corp.) ,  SHIGEMATSU S (NTT Corp.) ,  YANO M (NTT Advanced Technol. Corp., Kanagawa, JPN) ,  KUDOU K (NTT Advanced Technol. Corp., Kanagawa, JPN) ,  KAMEI T (NTT Advanced Technol. Corp., Kanagawa, JPN) ,  ISHII H (NTT Corp.) ,  KYURAGI H (NTT Corp.)
Material： Proceedings of the Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems  (Proceedings of the Sensor Symposium)
Volume： 20th  Page： 323-326  Publication year： Jul. 23, 2003 
JST Material Number： X0768A  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： Japan (JPN)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *fingerprint recognition ,...
Semi thesaurus term： 指紋センサ ,...

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JST classification (2)： Pattern recognition  (JE07000S) ,  Semiconductor integrated circuit  (NC03162T)

Terms in the title (5)： シームレス ,  集積 ,  CMOS ,  MEMS ,  指紋センサ