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J-GLOBAL ID：200902212430774939   Reference number：04A0333381

The MEMSNAS Process: Microloading Effect for Micromachining 3-D Structures of Nearly All Shapes

MEMSNASプロセス:ほとんど全形状の3次元構造の微細加工のためのマイクロローディング

Author (3)： BOUROUINA T (Ecole Superieure d’Ingenieurs en Electrotechnique et Electronique, Noisy-le-Grand, FRA) ,  MASUZAWA T (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  FUJITA H (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
Material： Journal of Microelectromechanical Systems  (J Microelectromechanical Syst)
Volume： 13  Issue： 2  Page： 190-199  Publication year： Apr. 2004 
JST Material Number： W0357A  ISSN： 1057-7157  CODEN： JMIYET  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *fine patterning ,...

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JST classification (1)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V)

Terms in the title (4)： プロセス ,  3次元構造 ,  微細加工 ,  ローディング