Art

J-GLOBAL ID：200902212433844806   Reference number：03A0837031

Error surface calculations on the parameters defining oxygen depth profile models fitted to ARXPS data obtained from polystyrene exposed to an oxygen/helium plasma

酸素/ヘリウムプラズマに曝露したポリスチレンから得たARXPSデータにフィットした酸素の深さプロフィルモデルを定義するパラメータの誤差表面計算

Author (1)： PAYNTER R W (INRS-EMT, Quebec, CAN)
Material： Surface and Interface Analysis  (SIA)
Volume： 35  Issue： 11  Page： 932-939  Publication year： Nov. 2003 
JST Material Number： E0709A  ISSN： 0142-2421  CODEN： SIANDQ  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： oxygen ,...
Semi thesaurus term： plasma treatment

   To see more with JDream III (charged).   {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=03A0837031&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=E0709A") }}

JST classification (4)： Metrology in general  (AD01000Q) ,  Electron spectroscopy  (BM09060K) ,  Other properties of polymer solids  (CG02025L) ,  Polystyrenes  (YH07120V)

Terms in the title (11)： 酸素 ,  ヘリウムプラズマ ,  曝露 ,  ポリスチレン ,  フィット ,  深さプロフィル ,  モデル ,  定義 ,  パラメータ ,  誤差 ,  計算