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J-GLOBAL ID：200902212448542008   Reference number：07A0878283

スパッタ法により作製した酸化タンタル電極による電解オゾン生成

Author (8)： KANEDA KAZUHIRO (三洋電機 ヒューマンエコロジー研) ,  KITSUKA KENTA (三洋電機 ヒューマンエコロジー研) ,  KAWATA KATSURA (三洋電機 ヒューマンエコロジー研) ,  IKEMATSU MINEO (三洋電機 ヒューマンエコロジー研) ,  HIGUCHI TOORU (東京理大 理) ,  HATTORI TAKESHI (東京理大 理) ,  TSUKAMOTO TAKEYO (東京理大 理) ,  ISEKI MASAHIRO (東京理大 理)
Material： 表面技術協会講演大会講演要旨集
Volume： 116th  Page： 185-186  Publication year： Sep. 11, 2007 
JST Material Number： Y0050A  ISSN： 0917-2947  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *tantalum oxide ,...

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JST classification (2)： Electrochemical reaction  (CB07050F) ,  Oxide thin films  (BK14050P)

Terms in the title (5)： スパッタ法 ,  作製 ,  酸化タンタル ,  電解 ,  オゾン生成