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J-GLOBAL ID：200902212452865814   Reference number：07A0343248

電着銅薄膜を用いた応力測定法における感度向上に関する研究

Author (5)： KITAOKA SEIICHIRO (鳥取大) ,  ONO YUICHI (鳥取大) ,  NISHIOKA TAKUJI (鳥取大) ,  UEDA YUTAKA (鳥取大) ,  NAKANO AKIHIRO (鳥取大)
Material： 日本機械学会中国四国支部総会・講演会講演論文集  (日本機械学会中国四国支部総会・講演会講演概要集)
Volume： 45th  Page： 67-68  Publication year： Feb. 23, 2007 
JST Material Number： L0015A  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *stress measurement ,...

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JST classification (1)： Material testing  (HB02020U)

Terms in the title (5)： 電着 ,  銅薄膜 ,  応力測定 ,  感度向上 ,  研究