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J-GLOBAL ID：200902212456559114   Reference number：07A0609401

The development of fan filter unit with flow rate feedback control in a cleanroom

クリーンルームにおける流速のフィードバック制御を有するファンフィルタユニットの開発

Author (4)： CHEN Juhn-jie (Energy & Environment Laboratories, Industrial Technol. Res. Inst., Taiwan, TWN) ,  LAN Chao-ho (Energy & Environment Laboratories, Industrial Technol. Res. Inst., Taiwan, TWN) ,  JENG Ming-shan (Energy & Environment Laboratories, Industrial Technol. Res. Inst., Taiwan, TWN) ,  XU Tengfang (Environmental Energy Technologies Div., Lawrence Berkeley National Lab., One Cyclotron Road, Berkeley, CA 94720, USA)
Material： Building and Environment  (Build Environ)
Volume： 42  Issue： 10  Page： 3556-3561  Publication year： Oct. 2007 
JST Material Number： C0858A  ISSN： 0360-1323  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *clean room ,...
Semi thesaurus term： *fan filter unit

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JST classification (1)： Air purification  (PC02060X)

Terms in the title (5)： クリーンルーム ,  流速 ,  フィードバック制御 ,  ファンフィルタユニット ,  開発