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J-GLOBAL ID：200902212458620260   Reference number：06A0699785

Temporal behaviour of the E to H mode transition in an inductively coupled argon discharge

誘導結合アルゴン放電中のEからHモードへの遷移の時間的挙動

Author (4)： KEMPKES P (Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU) ,  SINGH S V (Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU) ,  PARGMANN C (Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU) ,  SOLTWISCH H (Ruhr-Univ. Bochum, Bochum, DEU)
Material： Plasma Sources Science and Technology  (Plasma Sources Sci Technol)
Volume： 15  Issue： 3  Page： 378-383  Publication year： Aug. 2006 
JST Material Number： W0479A  ISSN： 0963-0252  CODEN： PSTEEU  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United Kingdom (GBR)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *inductively coupled plasma ,...

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JST classification (2)： Gas discharges  (BJ03020T) ,  Plasma devices  (BJ02082I)

Terms in the title (6)： 誘導結合 ,  アルゴン ,  放電 ,  Hモード ,  遷移 ,  挙動