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J-GLOBAL ID：200902212480066676   Reference number：07A1042950

TWO-DIMENSIONAL MEMS SCANNER FOR DUAL-AXES CONFOCAL IN VIVO MICROSCOPY

二重軸共焦点生体内顕微鏡のための二次元MEMS走査装置

Author (6)： RA H. (Stanford Univ., USA) ,  TAGUCHI Y. (Stanford Univ., USA) ,  LEE D. (Stanford Univ., USA) ,  PIYAWATTANAMETHA W. (Stanford Univ., USA) ,  PIYAWATTANAMETHA W. (National Electronics and Computer Technol. Center, Pathumthani, THA) ,  SOLGAARD O. (Stanford Univ., USA)
Material： Technical Digest. IEEE Micro Electro Mechanical Systems  (IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems)
Volume： 19th Vol.2  Page： 862-865  Publication year： 2006 
JST Material Number： W0377A  ISSN： 1084-6999  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *micro circuit technique ,...
Semi thesaurus term： Si wafer ,...

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JST classification (3)： Manufacturing technology of solid-state devices  (NC03030V) ,  Optical microscopes,telescopes  (QF05050R) ,  Medical instruments and apparatuses  (GA05020L)

Terms in the title (4)： 共焦点 ,  生体内顕微鏡 ,  MEMS ,  走査装置