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J-GLOBAL ID：200902212481438500   Reference number：05A1012778

Optimization of an industrial DC magnetron sputtering process for graded composition solar thermal absorbing layer

傾斜組成太陽熱吸収層用の工業DCマグネトロンスパッタリングプロセスの最適化

Author (5)： ZHAO Shuxi (Uppsala Univ., The Ångstroem Lab., P.O. Box 534, S-751 21 Uppsala, SWE) ,  AVENDANO Esteban (Uppsala Univ., The Ångstroem Lab., P.O. Box 534, S-751 21 Uppsala, SWE) ,  GELIN Kristina (Uppsala Univ., The Ångstroem Lab., P.O. Box 534, S-751 21 Uppsala, SWE) ,  LU Jun (Uppsala Univ., The Ångstroem Lab., P.O. Box 534, S-751 21 Uppsala, SWE) ,  WAECKELGARD Ewa (Uppsala Univ., The Ångstroem Lab., P.O. Box 534, S-751 21 Uppsala, SWE)
Material： Solar Energy Materials and Solar Cells  (Sol Energy Mater Sol Cells)
Volume： 90  Issue： 3  Page： 308-328  Publication year： Feb. 15, 2006 
JST Material Number： D0513C  ISSN： 0927-0248  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： chemical composition ,...

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JST classification (1)： Oxide thin films  (BK14050P)

Terms in the title (7)： 傾斜組成 ,  太陽熱 ,  吸収層 ,  工業 ,  DCマグネトロンスパッタリング ,  プロセス ,  最適化