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J-GLOBAL ID：200902212493006184   Reference number：06A0751107

Micro-USAL technique for the manufacture of high quality microstructures in brittle materials

脆性材料で高品質微小構造物を製作する微小USAL(微小超音波支援ラッピング)法

Author (3)： ZHANG C. (LFM, Univ. of Bremen, Bremen, DEU) ,  BRINKSMEIER E. (LFM, Univ. of Bremen, Bremen, DEU) ,  RENTSCH R. (LFM, Univ. of Bremen, Bremen, DEU)
Material： Precision Engineering  (Precis Eng)
Volume： 30  Issue： 4  Page： 362-372  Publication year： Oct. 2006 
JST Material Number： A0734B  ISSN： 0141-6359  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： acoustic emission ,...
Semi thesaurus term： *lapping

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JST classification (1)： Grinding  (QC03000R)

Terms in the title (9)： 脆性材料 ,  高品質 ,  微小 ,  構造物 ,  製作 ,  超音波 ,  支援 ,  ラッピング ,  法