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J-GLOBAL ID：200902212494149949   Reference number：07A1227076

Near-IR Photon Emission Spectroscopy on Strained and Unstrained 60nm Silicon nMOSFETs

有歪及び無歪60nmけい素nMOSFETs上での近IR光子放出分光分析

Author (10)： TAN S L (National Univ. Singapore) ,  ANG K W (National Univ. Singapore) ,  TOH K H (National Univ. Singapore) ,  ISAKOV D (National Univ. Singapore) ,  CHUA C M (SEMICAPS Pte Ltd, Singapore) ,  KOH L S (SEMICAPS Pte Ltd, Singapore) ,  YEO Y C (National Univ. Singapore) ,  CHAN D S H (National Univ. Singapore) ,  PHANG J C H (National Univ. Singapore) ,  PHANG J C H (SEMICAPS Pte Ltd, Singapore)
Material： Proceedings of the International Symposium for Testing and Failure Analysis  (Proceedings. ISTFA)
Volume： 33rd  Page： 81-85  Publication year： 2007 
JST Material Number： D0658B  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： photon ,...
Semi thesaurus term： electron mobility ,...

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JST classification (3)： Infrared spectroscopy and spectrometers  (BD07042H) ,  Measurement,testing and reliability of solid-state devices  (NC03040G) ,  Transistors  (NC03070N)

Terms in the title (5)： 歪 ,  けい素 ,  Ir ,  光子放出 ,  分光分析