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J-GLOBAL ID：200902212499749987   Reference number：08A0569176

ICP etching of polycrystalline diamonds: Fabrication of diamond nano-tips for AFM cantilevers

多結晶ダイヤモンドのICPエッチング AFMカンチレバー用のダイヤモンドナノチップの作製

Author (3)： UETSUKA H. (Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), JPN) ,  YAMADA T. (Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), JPN) ,  SHIKATA S. (Diamond Res. Center, National Inst. of Advanced Industrial Sci. and Technol. (AIST), JPN)
Material： Diamond and Related Materials  (Diam Relat Mater)
Volume： 17  Issue： 4-5  Page： 728-731  Publication year： Apr. 2008 
JST Material Number： W0498A  ISSN： 0925-9635  Document type： Article
Article type： 短報  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *microprobe ,  *diamond ,  polycrystal ,  plasma etching ,  atomic force microscope ,  nanometer process

JST classification (2)： Carbon and its compounds  (YB02060D) ,  Manufacturing of ceramics and ceramic whiteware  (YC03020V)

Terms in the title (8)： 多結晶ダイヤモンド ,  ICP ,  エッチング ,  AFM ,  カンチレバー ,  ダイヤモンド ,  ナノチップ ,  作製