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J-GLOBAL ID：200902212513544730   Reference number：04A0002950

Characterization of diamond-like carbon films formed by magnetically enhanced plasma chemical vapor deposition

磁場強化プラズマ化学気相成長法で作製したダイヤモンド状カーボン膜の特性評価

Author (3)： INAGAWA K (ULVAC Inc., Ibaraki, JPN) ,  ZENIYA T (ULVAC Inc., Ibaraki, JPN) ,  HIBINO N (ULVAC Inc., Ibaraki, JPN)
Material： Surface & Coatings Technology  (Surf Coat Technol)
Volume： 169/170  Page： 344-347  Publication year： Jun. 02, 2003 
JST Material Number： D0205C  ISSN： 0257-8972  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： Netherlands (NLD)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *DLC film ,...

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JST classification (1)： Carbon and its compounds  (YB02060D)

Substance index (2)： Ethylene ,  Acetylene

Terms in the title (6)： 磁場 ,  強化 ,  プラズマ化学気相成長法 ,  作製 ,  ダイヤモンド状カーボン ,  特性評価