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J-GLOBAL ID：200902174280568864   Reference number：97A0583384

Effect of impurity on stress migration of an Al thin film on a glass substrate.

ガラス基板上Al薄膜のストレスマイグレーションに及ぼす不純物の影響

Author (6)： TAKATSUJI HIROSHI (日本アイ・ビー・エム) ,  TSUJI SATOSHI (日本アイ・ビー・エム) ,  TSUJIMOTO KATSUHIRO (ITES) ,  SUZUKI YUKINOBU (名古屋大 大学院) ,  KURODA KOTARO (名古屋大 工) ,  SAKA HIROYASU (名古屋大 工)
Material： 日本金属学会講演概要  (Collected Abstracts of the Meeting of the Japan Institute Metals)
Volume： 120th  Page： 127  Publication year： Mar. 1997 
JST Material Number： S0988A  ISSN： 1342-5730  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (5)： ガラス基板 ,  Al ,  薄膜 ,  ストレスマイグレーション ,  不純物