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J-GLOBAL ID：200902190603380695   Reference number：96A0878964

Analysis of a Si/SiGe Multilayer by Medium-Energy Coaxial Impact Collision Ion Scattering Spectroscoy(ME-CAICISS).

中エネルギー同軸型直衝突イオン散乱分光(ME-CAICISS)法によるSi/SiGe多層膜の分析

Author (6)： KOBAYASHI TAKASHI (理研) ,  DORENBOS G (理研) ,  SHIMODA SUSUMU (理研) ,  MCCONVILLE C F (Univ. Warwick) ,  IWAKI MASAYA (理研) ,  AONO MASAKAZU (理研)
Material： 応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)
Volume： 57th  Issue： 2  Page： 548  Publication year： Sep. 1996 
JST Material Number： Y0055A  Document type： Proceedings
Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Terms in the title (10)： エネルギー ,  同軸 ,  衝突 ,  イオン散乱分光 ,  CAICISS ,  法 ,  Si ,  SiGe ,  多層膜 ,  分析