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J-GLOBAL ID：201602298833006057   Reference number：16A0748326

装置発熱を考慮したクリーンルーム用温熱環境シミュレータの開発-その1 開発背景とシステムの概要-

Author (5)： MORIKAWA YASUSHIGE (大成建設 技術セ) ,  OKUI YUIKO (大成建設) ,  YOKOI MUTSUMI (大成建設 技術セ) ,  YAMAZAKI YOSHIO (大成建設) ,  ONO KOJI (大成建設)
Material： 日本建築学会大会学術講演梗概集・建築デザイン発表梗概集(CD-ROM)  (日本建築学会大会建築デザイン発表梗概集(CD-ROM))
Volume： 2016  Page： ROMBUNNO.41408  Publication year： Jul. 20, 2016 
JST Material Number： S0745D  ISSN： 1883-9363  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *clean room ,  *environment simulator ,  *thermal environment ,  heat generation, pyrexia ,  computational fluid dynamics ,  energy saving ,  system planning ,  air conditioning equipment ,  semiconductor process
Semi thesaurus term： semiconductor manufacturing equipment

JST classification (2)： Architectural environment in general  (RB02010T) ,  Air purification  (PC02060X)

Terms in the title (7)： 発熱 ,  クリーンルーム ,  温熱環境 ,  シミュレータ ,  開発 ,  背景 ,  概要