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J-GLOBAL ID：201702210247348111   Reference number：17A0551236

パルスレーザー蒸着(PLD)装置の高度化および金属薄膜における表面モフォロジーの評価

Author (2)： SUZUKI YUTA (東京理大 基礎工) ,  KOTSUGI MASATO (東京理大 基礎工)
Material： 応用物理学会春季学術講演会講演予稿集(CD-ROM)  (Extended Abstracts. JSAP Spring Meeting (CD-ROM))
Volume： 64th  Page： ROMBUNNO.17p-501-6  Publication year： Mar. 01, 2017 
JST Material Number： Y0054B  ISSN： 2436-7613  Document type： Proceedings
Article type： 短報  Country of issue： Japan (JPN)  Language： JAPANESE (JA)

Thesaurus term： *pulsed laser deposition ,  *metallic thin film ,  *morphology ,  *surface structure ,  magnetic material ,  laser pulse ,  stabilization ,  *surface morphology ,  *structure
Semi thesaurus term： *surface morphology

JST classification (1)： Techniques and equipment of thin film deposition  (BK14020I)

Terms in the title (6)： パルスレーザー蒸着 ,  PLD ,  高度化 ,  金属薄膜 ,  表面モフォロジー ,  評価