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J-GLOBAL ID：201702241091387074   Reference number：17A0381400

Piezoelectric/magnetostrictive MEMS resonant sensor array for in-plane multi-axis magnetic field detection

面内軸磁場検出のための圧電/磁歪MEMS共振センサアレイ【Powered by NICT】

Author (6)： Kim Hoe Joon (Carnegie Mellon University, Pittsburgh, USA) ,  Wang Sibo (Carnegie Mellon University, Pittsburgh, USA) ,  Xu Changting (Carnegie Mellon University, Pittsburgh, USA) ,  Laughlin David (Carnegie Mellon University, Pittsburgh, USA) ,  Zhu Jingxi (Sun Yat-sen University, Guangzhou, China) ,  Piazza Gianluca (Carnegie Mellon University, Pittsburgh, USA)
Material： IEEE Conference Proceedings  (IEEE Conf Proc)
Volume： 2017  Issue： MEMS  Page： 109-112  Publication year： 2017 
JST Material Number： W2441A  Document type： Proceedings
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Abstract/Point： This paper reports the demonst...

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Thesaurus term： *MEMS ,  resonator ,  high-resolution ,  *resonance(vibration) ,  *sensor ,  *piezoelectricity ,  *sensor array ,  magnetometer ,  aluminum nitride ,  *magnetostriction ,  multiaxial
Semi thesaurus term： センサシステム ,  電気機械結合係数 ,  品質係数 ,  圧電共振器 , 【Automatic Indexing@JST】

JST classification (3)： Measuring instruments in general  (AD02000X) ,  Measuring methods and instruments of length,area,cross section,volume,angle  (AD05020O) ,  Other applications of acoustics  (BB03100I)

Terms in the title (7)： 内軸 ,  磁場 ,  圧電 ,  磁歪 ,  MEMS ,  共振 ,  センサアレイ