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J-GLOBAL ID：201702253591836549   Reference number：17A0330238

A study of crystallographic phases in non-stoichiometric (oxygen deficiency) indium oxide thin films

非化学量論組成(酸素欠乏)酸化インジウム薄膜中の結晶学的相の研究

Author (2)： JOSEPH S. (Technion-Israel Inst. of Technol., Haifa, ISR) ,  BERGER S. (Technion-Israel Inst. of Technol., Haifa, ISR)
Material： Journal of Materials Science  (J Mater Sci)
Volume： 52  Issue： 4  Page： 1988-1995  Publication year： Feb. 2017 
JST Material Number： B0722A  ISSN： 0022-2461  CODEN： JMTSAS  Document type： Article
Article type： 原著論文  Country of issue： United States (USA)  Language： ENGLISH (EN)

Thesaurus term： *indium oxide ,  thin film ,  *chemical composition ,  indium ,  reactive sputtering ,  high resolution electron microscope ,  transmission electron microscope ,  electron energy loss spectroscopy ,  transmissivity ,  optical transmission ,  *compound semiconductor ,  *nonstoichiometry ,  particle
Semi thesaurus term： stoichiometric composition ,  metal grain ,  high resolution transmission electron microscope ,  oxide thin film ,  *transparent conducting oxide

JST classification (1)： Optical properties of condensed matter in general  (BM08010A)

Terms in the title (6)： 化学量論組成 ,  酸素欠乏 ,  酸化インジウム ,  薄膜 ,  結晶学 ,  研究